In diesem Labor werden alle notwendigen Reinigungs- und Vorbereitungstätigkeiten der eigenentwickelten Halbleiterschaltungen vorgenommen.

Ausstattung

• Nasschemische Werkbänke mit Abluft der ISO Klasse 5
• Trockenofen mit Vakuum- und Inertgasanschluss
• Tiefstemperaturgefrierschrank zur Langzeitlagerung von Klebstoffen
• Wafersäge für Glas- und Siliziumsubstrate
• Chip-Lagerschränke mit Inertgasanschluss
• div. Mikroskope zur Oberflächeninspektion und Ausrichtung von Halbleiterstrukturen