Lehrstuhl für Hochfrequenzsysteme in der Kommunikationstechnik

Chemie Labor

In diesem Labor werden alle notwendigen Reinigungs- und Vorbereitungstätigkeiten der eigenentwickelten Halbleiterschaltungen vorgenommen.

Ausstattung

  • Nasschemische Werkbänke mit Abluft der ISO Klasse 5
  • Trockenofen mit Vakuum- und Inertgasanschluss
  • Tiefstemperaturgefrierschrank zur Langzeitlagerung von Klebstoffen
  • Wafersäge für Glas- und Siliziumsubstrate
  • Chip-Lagerschränke mit Inertgasanschluss
  • div. Mikroskope zur Oberflächeninspektion und Ausrichtung von Halbleiterstrukturen

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